ステージ装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006056723
Publication number (International publication number)：2007232647
Application date： Mar. 02, 2006
Publication date： Sep. 13, 2007
Summary：

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。【解決手段】ステージ装置10Aは、定盤20と、定盤20の平面上を移動するステージ30と、ステージ30上に載置されたθテーブル40とを有する。ステージ30は、Y方向に移動するYステージ36と、Y方向と直交するX方向に移動するXステージ38とを有する。Xステージ38とθテーブル40との間には、θテーブル40をθz方向に回動可能に支持するピボット軸80と、ピボット軸80を回転可能に軸承する軸受82とが設けられている。一対のθリニアモータ74は、上方からみるとピボット軸80を中心に対称となる位置に平行に設けられている。そのため、一対のθリニアモータ74は、コイルユニット78に通電することによりピボット軸80を中心とする偶力を発生させてθテーブル40を側面からθz方向に回動させる。【選択図】図1

Claim 1：

定盤上を移動するステージと、該ステージ上に回動可能に支持されたθテーブルとを有し、前記ステージを前記θテーブルと共に移動させるステージ装置において、前記ステージ上面の中央と前記θテーブルの下面中心との間で垂直方向に起立するピボット軸と、前記θテーブルが前記ピボット軸の軸回りに回転するように前記ピボット軸を軸承する軸受と、前記θテーブルの側方に設けられ、前記θテーブルの側面を前記ピボット軸の軸回りに駆動する一対のθリニアモータと、を備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (3)：

G12B 5/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (3)：

G12B5/00 T , H01L21/30 503A , H01L21/68 K

F-Term (16)：

2F078CA01 , 2F078CA08 , 2F078CB02 , 2F078CB04 , 2F078CB05 , 2F078CB12 , 2F078CB16 , 2F078CC02 , 5F031HA57 , 5F031HA59 , 5F031LA03 , 5F031LA08 , 5F031PA30 , 5F046CC01 , 5F046CC06 , 5F046CC19

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

X-Yステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-018578 Applicant：住友重機械工業株式会社
リニアモータを内蔵したステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-135214 Applicant：日本トムソン株式会社
テーブル装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-175237 Applicant：株式会社ミツトヨ

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Cited by examiner (4)

ステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-214380 Applicant：住友重機械工業株式会社
リニアモータを内蔵したステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-135214 Applicant：日本トムソン株式会社
2軸移動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-266349 Applicant：日本精工株式会社

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