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J-GLOBAL ID:200903005414521085

光スキャナ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998261270
Publication number (International publication number):1999242180
Application date: Sep. 16, 1998
Publication date: Sep. 07, 1999
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】配線などの電気要素の劣化を防止し、長期的に電気要素の信頼性を維持可能な光スキャナを提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る光スキャナは、弾性部材130を複数のポリイミド層で220,230,240から形成し、コイル140に電流を印加するための配線142を、弾性部材130の厚み方向において略二等分の位置に設けたことを特徴としている。
Claim (excerpt):
固定された支持体と、少なくとも一方の面に光を反射するための鏡面が形成された可動板と、この可動板と前記支持体との間を連結する弾性部材と、少なくとも前記可動板に設けられ前記可動板及び前記支持体間に駆動力を発生するアクチュエータとを有し、少なくとも前記可動板に設けられた前記アクチュエータに、前記弾性部材に設けられた電気要素を介して所定の電気信号を印加して前記駆動力を発生させ、前記弾性部材の弾性変形により前記可動板の偏向運動を行う光スキャナにおいて、前記弾性部材が複数の弾性層からなり、この積層方向である前記弾性部材の厚み方向に略二等分の位置において、前記弾性層間に前記電気要素を設けたことを特徴とする光スキャナ。
IPC (2):
G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08
FI (2):
G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08 E
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)

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