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J-GLOBAL ID：200903005417048461

圧電振動角速度計及びその製造方法

Inventor： 野村 達士 ,  渡辺 俊二 ,  藤生 尚光
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994207081
Publication number (International publication number)：1996068634
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 大量に安価にしかも小型の圧電振動角速度計を提供する。【構成】 金属またはセラミックスからなる四角柱形状の基体とこれに接合された四角柱形状の圧電または電歪部材とからなる振動子と、基体と圧電または電歪部材との間に形成された内部電極と、圧電または電歪部材の内部電極と相対する側面に形成された外部電極と、を有する圧電振動角速度計であって、外部電極及び内部電極により、振動子を励振し、発生するコリオリの力を検出する。

Claim (excerpt)：

金属またはセラミックスからなる四角柱形状の基体とこれに接合された四角柱形状の圧電または電歪部材とからなる振動子と、基体と圧電または電歪部材との間に形成された内部電極と、圧電または電歪部材の内部電極と相対する側面に形成された外部電極と、を有する圧電振動角速度計であって、外部電極及び内部電極により、振動子を励振し、発生するコリオリの力を検出することを特徴とする圧電振動角速度計。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04