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J-GLOBAL ID:200903005420809937
断面形状測定方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
八田 幹雄 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991176310
Publication number (International publication number):1993026634
Application date: Jul. 17, 1991
Publication date: Feb. 02, 1993
Summary:
【要約】【目的】 被測定物の表面粗さの如何に拘らずに、凹凸のない滑らかな輪郭線で描かれた断面形状が得られるようにすること。【構成】 被測定物の表面上に照射されている前記レーザースリット光を任意の位置から微少距離移動させ、この際に前記被測定物から得られる異なる位置における反射光をそれぞれ入力し、当該異なる位置からの反射光を合成し、当該合成により前記被測定物の任意の位置の断面形状を測定するようにした。
Claim (excerpt):
被測定物の表面にレーザースリット光を照射し、当該被測定物からの反射光に基づいて前記被測定物の断面形状を測定する断面形状測定方法において、前記被測定物の表面上に照射されている前記レーザースリット光を任意の位置から微少距離移動させ、この際に前記被測定物から得られる異なる位置における反射光をそれぞれ入力し、当該異なる位置からの反射光を合成し、当該合成により前記被測定物の任意の位置の断面形状を測定することを特徴とする断面形状測定方法。
IPC (2):
G01B 11/24
, G06F 15/70 335
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