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J-GLOBAL ID：200903005435657874

カンチレバー

Inventor： 籾山 奈津江
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997008087
Publication number (International publication number)：1998206441
Application date： Jan. 20, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 測定時に摩擦する深針部に硬度を付与すると共に、導電性を付与し、耐久性のあるカンチレバーとする。【解決課題】 片持ちばり状のレバー部4の自由端に設けられた深針部6に対して、Au、Pt、Pd、Ir、Rh、Os、Niなどの導電性の金属をイオン注入して、導電性を有した表面層を形成する。

Claim (excerpt)：

片持ちばり状に延出したレバー部と、このレバー部の自由端に形成された探針部とを備えており、少なくとも前記探針部側の面には、金属イオンを注入することによって導電性を有する表面層が形成されていることを特徴とするカンチレバー。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  C23C 14/48 ,  G01B 21/30

FI (4)：

G01N 37/00 G ,  G01N 37/00 C ,  C23C 14/48 Z ,  G01B 21/30 Z