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J-GLOBAL ID：200903005441049819

研磨方法

Inventor： 両毛 克己 ,  藤山 正昭 ,  山田 圭介
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994189008
Publication number (International publication number)：1996025205
Application date： Jul. 20, 1994
Publication date： Jan. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 内因性突起を有する被研磨体から研磨面に傷を付けずに突起のみを被研磨面から除去する研磨方法、特に、被研磨面が液晶用カラーフィルターである場合その表面から内因性突起を効率よく除去することによりその生産工程における歩留まりの向上を計ること。【構成】 剛性で平板状の被研磨体と可撓性支持体上に研磨剤粒子と結合剤樹脂を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被研磨体の被研磨面と該研磨テープの該研磨層とを向かい合わせ、且つ、該被研磨体の基底面と該研磨層の基底面との距離を0.1〜5.0μmに保持しつつ、該被研磨体と該研磨テープとを対向する方向に移動させ、かつロール荷重を5〜500gf/10mmとすることにより被研磨面の内因性突起を除去する研磨方法。

Claim (excerpt)：

剛性で平板状の被研磨体と可撓性支持体上に研磨剤粒子と結合剤樹脂を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被研磨体の被研磨面と該研磨テープの該研磨層とを向かい合わせ、且つ、該被研磨体の基底面と該研磨層の基底面との距離を0.1〜5.0μmに保持しつつ、該被研磨体と該研磨テープとを対向する方向に移動させ、かつロール荷重を5〜500gf/10mmとすることにより被研磨面の内因性突起を除去する研磨方法。

IPC (3)：

B24B 21/00 ,  B24D 3/20 ,  B24D 11/00