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J-GLOBAL ID：200903005456647046
スパツタ用治具
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
白井 博樹 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991281066
Publication number (International publication number)：1993117839
Application date： Oct. 28, 1991
Publication date： May. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】カラーパターンに傷を生じさせることなく、かつ、透明電極層のパターンの精度を向上させる。【構成】開口部2aが形成された主プレート2と、内部に多数の磁石6が設けられる副プレート5と、カラーパターン10a、10bが形成されるガラス基板9と、カラーパターン10a、10bに対向するように開口部8a、8bが形成されるマスク8とを備え、主プレート2と副プレート5との間にガラス基板9とマスク8を固定する治具であって、マスク8の材質は、強磁性材料でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなる。
Claim (excerpt)：
開口部が形成された主プレートと、内部に多数の磁石が設けられる副プレートと、カラーパターンが形成されるガラス基板と、前記カラーパターンに対向するように開口部が形成されるマスクとを備え、前記主プレートと副プレートとの間に前記ガラス基板およびマスクを固定する治具であって、マスクの材質は、強磁性材料でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなることを特徴とするスパッタ用治具。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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