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J-GLOBAL ID：200903005467647870

プラズマ処理装置

Inventor：
是永 哲雄

About 是永 哲雄

, 
永留 隆二

About 永留 隆二


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005037153
Publication number (International publication number)：2006228773
Application date： Feb. 15, 2005
Publication date： Aug. 31, 2006
Summary：
【課題】薄型基板を対象として異常放電の発生を防止することができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】処理室内に基板を収容してプラズマ処理するプラズマ処理装置において、セラミックス製の載置プレート10上に保持された基板の両側端部をガイドするためにセラミックス製の固定ガイド12,可動ガイド13をX方向(基板搬送方向)に配列し、可動ガイド13の両端部を支持部材によって支持させ、この支持部材を載置プレート10を挟んでY方向に配置された固定部材15A,15BにY方向の間隔を調整自在に装着する構成とする。これにより、セラミックス製のガイド部材13を直接ボルト締結することなく着脱することができ、幅寸法が異なる多種類の薄型基板を対象として異常放電の発生を防止することができる。【選択図】図3
Claim 1：
処理室内に基板を収容して前記基板の表面をプラズマ処理するプラズマ処理装置であって、前記処理室の底部を形成するベース部と、前記ベース部に絶縁体を介して装着され上面が前記処理室内に露呈される電極部と、前記電極部の上部を構成し上面がセラミックスで覆われた基板載置部と、前記処理室内に前記プラズマ処理のためのプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、前記基板載置部の上面に基板搬送方向に沿って複数配置され前記基板載置部に載置された基板の側端面をガイドする棒状セラミックス製のガイド部材と、前記ガイド部材の長手方向の両端部を所定間隔で保持するガイド部材保持手段とを備え、 前記ガイド部材保持手段は、前記ベース部に前記基板載置部の外縁に沿って基板搬送方向と直交する幅方向に固定配置された固定部材と、前記固定部材によって前記基板搬送方向の位置を位置決めされ、前記ガイド部材の両端部を支持する支持部材と、複数の前記支持部材を前記固定部材に前記幅方向の間隔を調整自在に装着する装着手段とを有することを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (3)：
H05K 3/26 ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/304
FI (3)：
H05K3/26 A ,  B08B7/00 ,  H01L21/304 645C
F-Term (10)：
3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB23 ,  3B116BC01 ,  5E343AA12 ,  5E343EE08 ,  5E343EE36 ,  5E343FF23 ,  5E343GG11 ,  5E343GG20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (4)
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