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J-GLOBAL ID：200903005469608406
ドライエッチングの終点検出方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鳥居 洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996096962
Publication number (International publication number)：1997283497
Application date： Apr. 18, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 この発明は、励起状態、基底状態に関わらず、エッチングの終点検出ができる終点検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 この発明のドライエッチングの終点検出方法は、エッチングチャンバー1内に導入された光源6からのモニター光を分光器7で波長分解し、分解された所定の波長の光を光検出器8で検出し、その光の吸光度によりドライエッチングの終点を検出する。
Claim (excerpt)：
チャンバー内に導入されたモニター光の所定の波長の光を光検出手段で検出し、その光の吸光度によりドライエッチングの終点を検出することを特徴とするドライエッチングの終点検出方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
