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J-GLOBAL ID：200903005481288760

ZnO蒸着材とその製造方法、およびそのZnO膜等

Inventor：
黛 良享

About 黛 良享


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (1)： 千葉 博史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008245305
Publication number (International publication number)：2009097090
Application date： Sep. 25, 2008
Publication date： May. 07, 2009
Summary：
【課題】成膜時の蒸発速度、成膜速度が高く、導電性および透明性に優れ、さらには耐湿性に優れた緻密なZnO膜を形成するZnO蒸着材とその製造方法を提供する。【解決手段】透明導電膜の成膜に用いられるZnO蒸着材であって、ZnOを主成分とする焼結体からなり、該焼結体が第一添加元素と第二添加元素とを含み、第一添加元素がPr、Nd、PmおよびSmの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第二添加元素がB、Al、GaおよびScの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第一添加元素の含有量が0.1〜14.9質量%の範囲内であり、第二添加元素の含有量が0.1〜10質量%の範囲内であり、第一添加元素の含有量が第二添加元素の含有量より多く、かつ該焼結体が3〜50%の気孔率を有する多孔質焼結体であることを特徴とするZnO蒸着材、およびその製造方法。【選択図】 なし
Claim 1：
透明導電膜の成膜に用いられるZnO蒸着材であって、ZnOを主成分とする焼結体からなり、該焼結体が第一添加元素と第二添加元素とを含み、第一添加元素がPr、Nd、PmおよびSmの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第二添加元素がB、Al、GaおよびScの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第一添加元素の含有量が0.1〜14.9質量%の範囲内であり、第二添加元素の含有量が0.1〜10質量%の範囲内であり、第一添加元素の含有量が第二添加元素の含有量より多く、かつ該焼結体が3〜50%の気孔率を有する多孔質焼結体であることを特徴とするZnO蒸着材。
IPC (5)：
C23C 14/24 ,  C23C 14/08 ,  C04B 35/453 ,  C04B 38/00 ,  H01B 13/00
FI (5)：
C23C14/24 E ,  C23C14/08 C ,  C04B35/00 P ,  C04B38/00 303Z ,  H01B13/00 503B
F-Term (27)：
4G019JA01 ,  4G019JA05 ,  4G030AA11 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA04 ,  4G030CA09 ,  4G030GA05 ,  4G030GA11 ,  4G030GA14 ,  4G030GA16 ,  4G030GA18 ,  4G030GA22 ,  4G030GA27 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA02 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB21 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04 ,  5G323BB05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (13)
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Cited by examiner (12)
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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