Pat

J-GLOBAL ID：200903005485839167

試料表面の測定方法と装置及び試料表面の微細加工方法と装置

Inventor： 楠本 修 ,  横山 和夫 ,  柴田 元司 ,  任田 隆夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992230871
Publication number (International publication number)：1994074899
Application date： Aug. 31, 1992
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 試料の微小領域からの発光を検出するためのプローブと微小電極を一体化したプローブを用いて、試料表面の微小領域に電流を流しながら前記微小領域からの発光を検出し、試料表面の特性を評価または微細加工する。【構成】 先端を鋭利化した光ファイバ(1,2)の表面を導電性かつ透光性を有する物質、例えばSn添加In2 O3 (3)で被覆する。試料表面の微小領域に光を検出または照射するプローブと電流を流すプローブを一体化したプローブを用いることにより、電子のトンネル現象に伴う発光の測定、レーザ光を照射したときにプローブと試料の間に流れる電流の測定を効率よく行う。また光電気化学反応を用いた微細加工において、試料全面ではなく電流を流す領域のみに光を照射し、電流を流さない領域の表面の荒れを防ぐ。

Claim (excerpt)：

試料の微小領域からの発光を検出するためのプローブと微小電極を一体化したプローブを用いて、試料表面の微小領域に電流を流しながら前記微小領域からの発光を検出し、試料表面の特性を評価する試料表面の測定方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-077605
  
• 特開平4-072716
  
• 特開平2-173278