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J-GLOBAL ID：200903005489855671

高抵抗透明導電膜の安定化方法

Inventor： 斉藤 一徳 ,  瀬田 康弘 ,  滝沢 一誠 ,  河村 潔
Applicant, Patent owner： 日本曹達株式会社
Agent (1)： 東海 裕作
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994266178
Publication number (International publication number)：1996109046
Application date： Oct. 05, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】透明ガラス基板上に、屈折率1.7〜2.2、膜厚10〜30nmの透明導電膜を成膜したガラスの加熱によるシート抵抗値変化を抑制し、かつ通電耐湿試験でのリニアリティ値が2%以上に増大しない安定化した透明導電膜を作成する方法を提供する。【構成】透明ガラス基板上の透明導電膜の上に、二酸化珪素膜を2〜100nmオーバーコートすることを特徴とする透明導電膜の安定化方法。

Claim (excerpt)：

透明ガラス基板上に形成した透明導電膜の表面を二酸化珪素の薄膜で覆うことを特徴とする透明導電膜の安定化方法。

IPC (3)：

C03C 17/34 ,  G06F 3/03 310 ,  H01B 13/00 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭58-069743
  
• 特開昭57-015311
  
• 特開平1-133961
  
• 特開昭62-020209