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J-GLOBAL ID：200903005508134930

搬送ユニット、搬送装置及び搬送装置の制御システム

Inventor： 四元 正 ,  黒田 雄一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三好 秀和 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000004782
Publication number (International publication number)：2001195129
Application date： Jan. 13, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 走行軌道、載置台、製造装置等の交換、増設、レイアウト変更等を自由に行うことができ、少ない労力及び時間で稼働させることができる搬送装置及び搬送ユニットを提供する。さらに、搬送効率を向上することができる搬送装置及びその制御システムを提供する。【解決手段】 搬送装置は複数の搬送ユニット10をユニット間連結体20により相互に連結して構築されている。搬送ユニット10は、搬送車13を走行させる走行軌道11と、搬送物16を供給、回収する載置台14と、走行軌道11と載置台14との間を連結する連結体12とを備えている。ユニット間連結体20は各々の搬送ユニット10の連結体12に配設されている。さらに、搬送装置においては、一本の走行軌道に2本の走行路を配設し、この2本の走行路に互いに干渉しないで走行する搬送車を備える。

Claim (excerpt)：

搬送車の所定単位長を有する走行軌道と、前記走行軌道に対応して配設された搬送物の載置台と、前記走行軌道と載置台との間を連結する連結体とを少なくとも備えたことを特徴とする搬送ユニット。

IPC (4)：

G05D 1/02 ,  B61B 13/06 ,  B65G 1/00 501 ,  H01L 21/68

FI (4)：

G05D 1/02 P ,  B61B 13/06 D ,  B65G 1/00 501 C ,  H01L 21/68 A

F-Term (27)：

3F022AA08 ,  3F022KK11 ,  3F022LL12 ,  3F022MM01 ,  3F022MM03 ,  3F022MM08 ,  3F022MM13 ,  3F022MM45 ,  3F022PP06 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA03 ,  5F031GA59 ,  5H301AA02 ,  5H301AA09 ,  5H301BB05 ,  5H301CC03 ,  5H301CC06 ,  5H301DD07 ,  5H301DD17 ,  5H301EE03 ,  5H301EE28 ,  5H301KK02 ,  5H301KK04 ,  5H301KK08 ,  5H301KK12 ,  5H301KK18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特許第2726903号
  
• 特開昭49-132678
  
• 基板処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-013925   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社