Pat

J-GLOBAL ID：200903005509259876

コンフォーカル顕微鏡、および受光素子

Inventor： 米山 寿一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998245612
Publication number (International publication number)：2000075217
Application date： Aug. 31, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、コンフォーカル顕微鏡、およびコンフォーカル顕微鏡の用途に特に適する受光素子に関し、従来必要であった高い駆動電圧を不要にしつつ、十分な信号対雑音比を得ることを目的とする。【解決手段】 光源と、光源からの光を試料に照射する照明光学系と、試料からの放射光を集光する集光光学系と、放射光を受光する受光素子とを備えたコンフォーカル顕微鏡において、受光素子は、放射光を光電変換する受光部と、受光部の近くに設けられ、制御領域の蓄積電荷に対応した信号出力を出力する増幅部と、受光部に生成される信号電荷を、増幅部の制御領域へ転送する電荷転送回路と、増幅部の制御領域をリセットするリセット回路と、制御領域のリセット期間に増幅部から出力されるリセット電位を保持し、リセット電位と増幅部の信号出力との差分を出力する差分回路とを備えてコンフォーカル顕微鏡を構成する。

Claim (excerpt)：

光源と、前記光源からの光を、試料に照射する照明光学系と、前記試料からの放射光を集光する集光光学系と、前記集光光学系を介して集光された放射光を受光する受光素子とを備えたコンフォーカル顕微鏡において、前記受光素子は、前記放射光を光電変換して信号電荷を蓄積する受光部と、前記受光部の近くに設けられ、電荷を蓄積する制御領域を有し、該制御領域の蓄積電荷に対応した信号出力を出力する増幅部と、前記受光部に生成される信号電荷を、前記増幅部の制御領域へ転送する電荷転送回路と、前記増幅部の制御領域をリセットするリセット回路と、前記制御領域のリセット期間に前記増幅部から出力されるリセット電位を容量性インピーダンスに保持し、保持したリセット電位と前記増幅部の信号出力との差分を出力する差分回路とを備えて構成されることを特徴とするコンフォーカル顕微鏡。

IPC (3)：

G02B 21/36 ,  H01L 27/146 ,  H04N 5/335

FI (3)：

G02B 21/36 ,  H04N 5/335 Z ,  H01L 27/14 A

F-Term (33)：

2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB06 ,  2H052AB24 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD31 ,  2H052AD34 ,  2H052AF06 ,  4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118DD09 ,  4M118DD12 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118FA42 ,  5C024AA03 ,  5C024CA05 ,  5C024EA03 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01 ,  5C024FA13 ,  5C024GA01 ,  5C024GA31 ,  5C024GA33 ,  5C024HA17 ,  5C024HA18