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J-GLOBAL ID：200903005537924915

積層TFT駆動薄膜EL素子

Inventor： 経塚 信也
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 阪本 清孝 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992075923
Publication number (International publication number)：1993242970
Application date： Feb. 28, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】 熱ストレスにより電極にひび割れ等の劣化現象が生ずることがなく、信頼性、歩留りの高い積層TFT駆動薄膜EL素子を提供する。【構成】 EL素子2の上には、TFT6a,6bが配されており、EL素子2を構成とする背面電極11、EL素子2とTFT6a,6bとの間に配され接地状態にされている接地電極4及びゲ-ト電極13は、Tiから形成されているので熱ストレスに強く内部応力の小さいものとなる。

Claim (excerpt)：

透明電極の上に第1の絶縁層、発光層、第2の絶縁層及び背面電極を順に積層してなる薄膜EL素子と、前記薄膜EL素子上に、絶縁層、接地された電極層及び絶縁層を介して前記薄膜EL素子の発光動作を制御するための薄膜トランジスタを配した積層TFT駆動薄膜EL素子であって、前記背面電極、接地された電極層及び前記薄膜トランジスタのゲ-ト電極は内部応力が2×109 dyne/cm2 以下となる導電性部材からなることを特徴とする積層TFT駆動薄膜EL素子。

IPC (2)：

H05B 33/26 ,  H01L 29/784