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J-GLOBAL ID：200903005547478379

イオンビームの平行化調整方法

Inventor： 長井 宣夫
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 山本 惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995090202
Publication number (International publication number)：1996264151
Application date： Mar. 22, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 イオンビームを曲げ戻す平行化手段に供給する電流または電圧を、正確にかつ短時間で設定することかできる平行化調整方法を提供する。【構成】 上流側の多点ビームモニタ20のファラデーカップFの内の二つと、その真ん中に位置する下流側の多点ビームモニタ22のファラデーカップBの内の一つを用いて、モニタ20に入射するイオンビームを走査して、二つのファラデーカップFを並列接続してビーム電流波形を計測し、モニタ20の位置におけるイオンビームのビーム走査信号上での重心位置を求め、かつ、モニタ22に入射するイオンビームを走査して、一つのファラデーカップBを用いてビーム電流波形を計測し、モニタ22の位置におけるイオンビームの走査信号上での重心位置を求め、二つの重心位置が互いに一致するように、平行化電磁石6に供給する励磁電流IC を増減させてビームの曲げ戻し度合を調整する。

Claim (excerpt)：

上流側の走査手段によって電気的に走査したイオンビームを下流側の平行化手段によって電気的に曲げ戻すことによって、イオンビームを平行走査する構成のイオン注入装置において、イオンビームのビームラインに沿って上流側と下流側とに互いに距離をあけて配置された上流側ビームモニタおよび下流側ビームモニタであって、上流側ビームモニタはイオンビームの走査方向に沿って配置された二つのファラデーカップを有し、下流側ビームモニタはイオンビームの走査方向において上流側ビームモニタの前記二つのファラデーカップのちょうど真ん中に位置するファラデーカップを有しており、そのような上流側ビームモニタおよび下流側ビームモニタを用いて、イオンビームが上流側ビームモニタに入射する状態でイオンビームを走査して、同ビームモニタの前記二つのファラデーカップを互いに並列接続しておいてそれらを用いてビーム電流波形を計測して、このビーム電流波形から上流側ビームモニタの位置におけるイオンビームのビーム走査信号上での重心位置を求め、イオンビームが下流側ビームモニタに入射する状態でイオンビームを走査して、同ビームモニタの前記ファラデーカップを用いてビーム電流波形を計測して、このビーム電流波形から下流側ビームモニタの位置におけるイオンビームのビーム走査信号上での重心位置を求め、上記のようにして求めた二つの重心位置が互いに一致するように、前記平行化手段に供給する電流または電圧を増減させて同平行化手段におけるビームの曲げ戻しの度合を調整することを特徴とするイオンビームの平行化調整方法。

IPC (4)：

H01J 37/317 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/265

FI (4)：

H01J 37/317 A ,  C23C 14/48 Z ,  H01J 37/147 D ,  H01L 21/265 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平4-022900
  
• 特開平2-005346
  
• 特開昭62-295347