Pat
J-GLOBAL ID：200903005548384920
光学式距離測定方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊沢 敏昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994030954
Publication number (International publication number)：1995218224
Application date： Feb. 02, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：
【要約】【目的】 光学式距離測定方法において、光軸のずれや傾きに基づく測定誤差をなくす。【構成】 光学式距離測定方法では、マークM1,M2等の対象物の画像をCCDセンサ等に拡大投影して検知し、センサ出力を信号処理してマーク間距離を測定するが、光軸が理想光軸iに対してa,bのようにずれたり、傾いたりすると、測定誤差が生ずる。そこで、0°位置にて光軸a,bを切換えてマーク間距離La,Lbをそれぞれ測定すると共に、180°位置にて光軸a,bを切換えてマーク間距離La’,Lb’をそれぞれ測定し、理想光軸iを用いて計算されるマーク間距離Li(=Li’)と等しい測定値をLa、La’、Lb、Lb’の演算により求める。この方法は、下地に対するレジストパターンのずれ量を正確に測定するのに有効である。
Claim (excerpt)：
回動自在なステージ上に被測定ウエハをセットし、照明系及び結像系を用いて前記ウエハ上の離間した対象物の画像を画像センサに拡大結像させ、前記画像センサの出力を信号処理することにより前記対象物間の距離を測定する光学式距離測定方法であって、前記ウエハが第1の回動位置をとるように前記ステージを調整した状態で前記照明系の第1の光軸を用いて前記対象物間の距離を測定して第1の測定値を得るステップと、前記ウエハが前記第1の回動位置をとるように前記ステージを調整した状態で前記照明系の第2の光軸を用いて前記対象物間の距離を測定して第2の測定値を得るステップと、前記ウエハが前記第1の回動位置とは180°異なる第2の回動位置をとるように前記ステージを調整した状態で前記第1の光軸を用いて前記対象物間の距離を測定して第3の測定値を得るステップと、前記ウエハが前記第2の回動位置をとるように前記ステージを調整した状態で前記第2の光軸を用いて前記対象物間の距離を測定して第4の測定値を得るステップと、前記照明系が理想的な光軸を有するものとして計算される前記対象物間の距離に等しい測定値を前記第1乃至第4の測定値の演算により求めるステップとを含むことを特徴とする光学式距離測定方法。
IPC (2)：
Return to Previous Page
