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J-GLOBAL ID：200903005571469615

貴金属分散酸化チタン薄膜の製造方法及びガスセンサー

Inventor： 平野 眞一 ,  菊田 浩一 ,  早川 一精
Applicant, Patent owner： ファインセラミックス技術研究組合
Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997280855
Publication number (International publication number)：1999118746
Application date： Oct. 14, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 気孔径が十分小さく、かつ、ガスが迅速に侵入可能な十分な開気孔容積を有する気孔が形成された貴金属分散TiO2薄膜を、できる限り簡便に製造可能な製造方法を提供する。【解決手段】 チタン及び貴金属元素を含む前駆体の溶液とTiO2ゾルとを、TiO2への重量換算比が1:3〜3:1となるように混合後、混合物をセラミックス基板上に成膜したのち乾燥し、酸化雰囲気中で予備処理を行った後、還元雰囲気中350〜600°Cで加熱する。

Claim (excerpt)：

チタン及び貴金属元素を含む前駆体の溶液とTiO2ゾルとを、TiO2への重量換算比が1:3〜3:1となるように混合後、当該混合物をセラミックス基板上に成膜したのち乾燥し、酸化雰囲気中で予備処理を行った後、還元雰囲気中350〜600°Cで加熱することを特徴とする貴金属分散酸化チタン薄膜の製造方法。

IPC (3)：

G01N 27/12 ,  C01G 23/047 ,  C04B 35/46

FI (4)：

G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 M ,  C01G 23/047 ,  C04B 35/46 Z