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J-GLOBAL ID：200903005573108415

硫酸-過酸化水素洗浄槽の連続的運転方法

Inventor： 石川 誠 ,  古市 弘 ,  大森 寿朗
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社 ,  三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998002996
Publication number (International publication number)：1999204486
Application date： Jan. 09, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】硫酸ー過酸化水素洗浄槽 におけるウェハ等の洗浄において、有機物並びに金属除去が可能な連続運転方法を提供する。【解決手段】硫酸ー過酸化水素洗浄槽の洗浄槽内もしくは洗浄槽外において、該洗浄槽の洗浄液の水分の一部を除去し、該洗浄槽のにおける硫酸濃度を80〜90重量%の範囲の一定濃度に保持することを特徴とする硫酸ー過酸化水素洗浄槽の連続的運転方法。

Claim (excerpt)：

硫酸-過酸化水素洗浄槽の洗浄槽内もしくは洗浄槽外において、洗浄液中の水分の一部を除去し、該洗浄槽における硫酸濃度を80〜90重量%の範囲内の一定濃度に保持することを特徴とする硫酸-過酸化水素洗浄槽の連続的運転方法