Pat
J-GLOBAL ID：200903005589676278
基板検査方法、およびこの方法を使用した基板検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森本 義弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998005201
Publication number (International publication number)：1999202032
Application date： Jan. 14, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 基板検査方法において、時間的な作用を有す被検査回路の検査を可能とし、ICのコストを低減し、検査精度を向上させることを目的とする。【解決手段】 集積回路11に、検査用端子17から入力された信号を被検査端子18にデジタル出力させるスイッチ回路13を組み込み、被検査端子18をDA変換器14に接続し、検査用端子17に任意周波数の信号を発生する発振器21を接続し、基板上のアナログ信号の周波数特性を測定する計測装置22を設け、発振器21より任意周波数の信号を検査用端子17より被検査端子18にデジタル出力させ、計測装置22によりアナログ信号の周波数特性を測定し、この測定された測定結果を判定値と比較し、基板上の被検査回路(DA変換器14と変換部5)の実装状態の良否を判定することとしたものであり、被検査回路の検査を可能とするとともに、ICのコストを低減し、検査精度を向上させる基板検査方法が得られる。
Claim (excerpt)：
集積回路内に検査回路を組み込み、前記集積回路に接続され、その出力がアナログ信号である基板上の被検査回路の実装状態の検査を行う基板検査方法であって、前記検査回路として、検査用端子から入力された信号を被検査端子にデジタル出力させる回路を組み込み、前記被検査端子を前記被検査回路に接続し、前記検査用端子に任意周波数の信号を発生する信号発生手段を接続し、前記基板上の被検査回路から出力されるアナログ信号の周波数特性を測定する測定手段を設け、前記信号発生手段より任意周波数の信号を、前記検査用端子より被検査端子にデジタル出力させ、前記測定手段により前記被検査回路により出力されたアナログ信号の周波数特性を測定し、前記測定手段により測定された測定結果を判定値と比較し、前記基板上の被検査回路の実装状態の良否を判定することを特徴とする基板検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01R 31/28 C
, G01R 31/28 V
