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J-GLOBAL ID：200903005605705402

光学式位置検出装置

Inventor： 品田 伸宏 ,  大家 清 ,  長沼 義広 ,  高橋 顕 ,  荒井 治
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 市村 健夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992351702
Publication number (International publication number)：1995151513
Application date： Dec. 08, 1992
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 被検物体面からの反射光の正反射成分の変動により影響されず、位置検出精度の高い光学式位置検出装置を提供する。【構成】 照明手段から直線偏光2を被検物体面4に投射し、反射光5のうち正反射光成分を検光子6により除去する。

Claim (excerpt)：

光源を有し、被検物表面に光を投射する投光手段と、前記被検物表面からの反射光を集光する受光光学系と、前記受光光学系で集光された前記反射光を受光する受光手段とを備え、前記受光手段における前記反射光の受光位置から前記被検物表面の高さ方向の位置を検出する光学式位置検出装置において、前記投光手段は、直線偏光を射出し、前記被検物表面と前記位置検出手段との間に配置され、前記被検物表面からの前記反射光のうち、正反射成分を除去する検光子を有することを特徴とする光学式位置検出装置。