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J-GLOBAL ID：200903005611758810

多面反射鏡の製造方法又は反射型照明装置又は半導体露光装置

Inventor： 半田 幸樹 ,  柴田 規夫 ,  瀧野 日出雄 ,  品田 邦典 ,  吉富 靖
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999267314
Publication number (International publication number)：2000162416
Application date： Sep. 21, 1999
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、設計通りの反射面形状を有する多光源形成反射鏡を歩留まり良く製造できる製造方法を提供することを第1の目的にし、更には、よりスループットの高い半導体露光装置を得ることを第2の目的にしている。【解決手段】 本発明は、所定の曲面の一部を面形状とする要素反射面を繰り返し配置してなる多面反射鏡の製造方法であって、要素反射面が形成される基材となるブロックを被加工物として用意し、所定の曲面形状かつ所定の表面粗さ以下になるように前記被加工物を加工し、形成された前記曲面形状を有する被加工物からその一部を切り出して、要素反射鏡を形成し、複数の要素反射鏡を所定の条件に組み上げることで多面反射鏡を形成することを特徴とした。

Claim (excerpt)：

所定の曲面の一部を面形状とする要素反射面を繰り返し配置してなる多面反射鏡の製造方法であって、前記要素反射面が形成される基材となるブロックを被加工物として用意し、前記所定の曲面形状かつ所定の表面粗さ以下になるように前記被加工物を加工し、形成された前記曲面形状を有する被加工物からその一部を切り出して、前記要素反射面が形成された要素反射鏡を形成し、複数の前記要素反射鏡を所定の条件に組み上げることで多面反射鏡を形成することを特徴とする多面反射鏡の製造方法。

IPC (3)：

G02B 5/10 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G02B 5/10 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 531 A