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J-GLOBAL ID：200903005627624643

磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜、その製造方法および磁気ヘッド

Inventor： 八重樫 誠司
Applicant, Patent owner： 株式会社ジャパンエナジー
Agent (1)： 倉橋 暎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996184070
Publication number (International publication number)：1998012438
Application date： Jun. 25, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 α-Fe2 O3 の基板にバッファ層を介して形成したFe-M-C系ナノ結晶合金もしくはFe系合金からなる合金磁性膜の熱処理時に、基板にFe3 O4 の強磁性体層が生成するのを防いで合金磁性膜に高透磁率を維持した、高飽和磁化および高透磁率を有する磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜を提供することである。【解決手段】 Fe-M-C系ナノ結晶合金もしくはFe系合金の合金磁性膜1は、α-Fe2 O3 の基板3上にバッファ層2を介して成膜され、基板付き磁性膜とされている。この合金磁性膜1のバッファ層2と隣接する側の領域を富酸素層1aに形成し、磁性膜1の成膜後の熱処理時に、富酸素層1aで磁性膜1による還元力を緩和して、基板3のα-Fe2 O3 がFe3 O4 に還元されるのを防ぐ。

Claim (excerpt)：

α-Fe2 O3 の基板上にバッファ層を介して、Fe-M-C系ナノ結晶合金(ただし、M: IVB族、VB族、IIIA族、IVA 族の元素)もしくはFe-M系合金(ただし、M: IVB族、VB族、IIIA族、IVA 族の元素)からなる合金磁性膜を形成した磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜において、合金磁性膜のバッファ層と隣接する側の領域を富酸素層に形成したことを特徴とする磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜。

IPC (4)：

H01F 10/14 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/147 ,  G11B 5/31

FI (5)：

H01F 10/14 ,  G11B 5/127 K ,  G11B 5/147 ,  G11B 5/31 G ,  G11B 5/31 C