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J-GLOBAL ID：200903005650923267

露光装置、及び照明装置

Inventor： 茂木 清
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 前田 均 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999059988
Publication number (International publication number)：2000260684
Application date： Mar. 08, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 小型化及び低コスト化を図ることである。【解決手段】 比較的に低出力の光源11から出射された光は、光路切換制御装置13及びミラー14A〜14Dにより選択的に露光処理部2A〜2Dの近傍まで送光される。各露光処理部2A〜2Dの近傍には、それぞれ増幅装置15A〜15Dが設けられており、光源11からの光はここで増幅されて、対応する露光処理部2A〜2Dに入射される。

Claim (excerpt)：

光を出射する単一の光源と、該光源からの光に基づく照明光を用いて露光処理を行う複数の露光処理部を備えた露光装置において、前記光源と前記各露光処理部を光学的に接続する複数の光路を有する送光装置と、前記各露光処理部のそれぞれに対応して設けられた前記光源からの光を増幅する複数の増幅装置とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527

F-Term (13)：

2H097BB02 ,  2H097CA04 ,  2H097CA06 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA10 ,  5F046CB02 ,  5F046CB04 ,  5F046CB07 ,  5F046CB23