Pat

J-GLOBAL ID：200903005658648869

チタン酸ジルコン酸鉛薄膜の製造方法

Inventor： 安部 良夫
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993007430
Publication number (International publication number)：1994211522
Application date： Jan. 20, 1993
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 基材の形状や材質にさほど制約を受けることなく、大面積のチタン酸ジルコン酸鉛を安価に製造できるようにすること。【構成】 カルボン酸鉛とチタンアルコキシド及びジルコニウムアルコキシドとの液相反応により複合アルコキシドを生成させ、該複合アルコキシドの水溶液を調製した後、その水溶液に基材表面を浸漬して前記複合アルコキシドを加水分解する。要すれば、加水分解前に、複合アルコキシドをエタノールアミンで変成する。

Claim (excerpt)：

カルボン酸鉛とチタンアルコキシド及びジルコニウムアルコキシドとの液相反応により複合アルコキシドを生成させ、該複合アルコキシドの水溶液を調製した後、その水溶液に基材表面を浸漬して前記複合アルコキシドを加水分解することを特徴とするチタン酸ジルコン酸鉛薄膜の製造方法。

IPC (2)：

C01G 25/00 ,  H01L 41/24