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J-GLOBAL ID：200903005674518312

照明装置及び投影露光装置

Inventor： 小松田 秀基
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 猪熊 克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997219086
Publication number (International publication number)：1999054417
Application date： Jul. 29, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】不規則な照度むらの発生を防止し、均一な照度分布を実現した、照明装置及び投影露光装置を提供する。【解決手段】光束を供給する光源手段1,2と、光源手段1,2からの光束を被照射物体13に照射する照明光学系4〜12とを有する照明装置において、照明光学系の光路中の被照射物体13と共役な位置若しくはその近傍、又は被照射物体13の入射側近傍にフィルタ20が配置され、フィルタ20は、被照射物体13上で解像しない程度の微小な遮光ドット又は減光ドットを透明基板上に配置してなり、ドットは、フィルタ20全面に亘りランダムでない規則をもつようにして配列されたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

光束を供給する光源手段と、該光源手段からの光束を被照射物体に照射する照明光学系とを有する照明装置において、前記照明光学系の光路中の前記被照射物体と共役な位置若しくはその近傍、又は前記被照射物体の入射側近傍にフィルタが配置され、該フィルタは、前記被照射物体上で解像しない程度の微小な遮光ドット又は減光ドットを透明基板上に配置してなり、前記ドットは、前記フィルタ全面に亘りランダムでない規則をもつようにして配列されたことを特徴とする照明装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D