Pat

J-GLOBAL ID：200903005687706452

揮発性元素の濃縮方法

Inventor： 卯野 明 ,  前田 繁則
Applicant, Patent owner： 株式会社トクヤマ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002102234
Publication number (International publication number)：2003294597
Application date： Apr. 04, 2002
Publication date： Oct. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】 トリクロロシラン等のハロゲン化シラン中に微量存在するホウ素等の揮発性元素を短時間に、コンタミネーションを低減させて濃縮することができる方法を提供する。【解決手段】 ホウ素等の揮発性元素を含むハロゲン化シランから成る試料とマンニトール等の錯化剤とをハロゲン化シランの重量を基準として2重量%以下の水の存在下で混合して揮発性元素を含有する錯化合物を形成した後に該試料中のハロゲン化シランの少なくとも一部を揮発させて除去し、次いで残った試料中の珪素成分を弗化水素酸を用いて弗化珪素に転化させてからこれを加熱処理することにより除去することによって前記試料中に含まれる揮発性元素を濃縮する。

Claim (excerpt)：

揮発性元素を含むハロゲン化シランから成る試料と錯化剤とをハロゲン化シランの重量を基準として2重量%以下の水の存在下で混合して揮発性元素を含有する錯化合物を形成した後に該試料中のハロゲン化シランの少なくとも一部を除去し、次いで残った試料中の珪素成分を弗化珪素に転化させて除去することを特徴とする前記試料中に含まれる揮発性元素の濃縮方法。

IPC (5)：

G01N 1/36 ,  C01B 33/107 ,  G01N 1/10 ,  G01N 1/28 ,  G01N 27/62

FI (6)：

C01B 33/107 B ,  G01N 1/10 D ,  G01N 27/62 V ,  G01N 1/28 Z ,  G01N 1/28 Y ,  G01N 1/28 K

F-Term (19)：

2G052AA00 ,  2G052AB01 ,  2G052AB26 ,  2G052AB27 ,  2G052AC28 ,  2G052AD26 ,  2G052CA03 ,  2G052CA04 ,  2G052DA12 ,  2G052EB04 ,  2G052EB11 ,  2G052ED01 ,  2G052FB02 ,  2G052GA34 ,  4G072AA14 ,  4G072HH07 ,  4G072HH09 ,  4G072MM08 ,  4G072TT19