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J-GLOBAL ID：200903005694040460

レーザ変位センサ装置

Inventor： 近藤 豊
Applicant, Patent owner： ファナック株式会社
Agent (1)： 竹本 松司 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993304580
Publication number (International publication number)：1995134006
Application date： Nov. 11, 1993
Publication date： May. 23, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 レーザ変位センサにおける温度ドリフト補正。【構成】 レーザ変位センサヘッドLSは、半導体レーザ1、光学系2,5、PSD6、信号処理部7、温度センサ8、マルチプレクサ9、AD変換器10、制御ロジック11及び利得制御部12から構成され、通信回線13を介してNC装置20に結合されている。CPU21が計測リクエスト信号を発すると、PSD6の出力を処理したデジタル電圧信号V1 ,V2 が順次AD変換器10、通信回線13を介してNC装置20の入出力装置23に送信される。CPU21は、受信したV1 ,V2 のレベルをチェックして、不適正な場合には、ゲイン制御部12を介して信号処理部7内のゲイン可変増幅器のゲインを変更する。ゲイン変更時には、電圧信号V1 ,V2 の送受信を実行した上で、温度センサ8の検出出力をデジタル化した温度信号Tの送受信を実行する。

Claim (excerpt)：

半導体レーザと該半導体レーザの出力光を被計測対象物に入射させる光学系と、位置検出型光検出器と、温度センサと、前記位置検出型光検出器に前記被計測対象物からの反射光を入射させる光学系と、前記位置検出型の光検出器の検出出力信号を処理する信号処理手段と、該信号処理手段の出力と前記温度センサの検出出力を経時的なデジタル信号に変換する手段と、該経時的デジタル信号を受けて該デジタル信号と予め前記温度センサの検出出力のレベルに対応する形で設定された温度ドリフト補正データに基づいて前記被計測対象物の位置変位を表わす信号を生成する変位信号手段と、前記経時的なデジタル信号を前記位置変位信号生成手段に転送する手段を備えたレーザ変位センサ装置。

IPC (3)：

G01B 11/02 ,  G01C 3/06 ,  G01D 3/028

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-230003
  
• 特開昭60-230003