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J-GLOBAL ID：200903005726682256
ネガ型感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991227383
Publication number (International publication number)：1993066558
Application date： Sep. 06, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：
【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が5位にベンゾフリル基を直接、又はビニル基を介して結合した2-ハロメチル-1,3,4-オキサジアゾール誘導体であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】本発明のネガ型感光性組成物は、光酸発生剤として上記の特定のオキサジアゾール誘導体を含有することにより、組成物の熱安定性が良好で、しかも高解像力のパターンプロフィールを得ることができ、特にネガ型のフォトレジストとして極めて有用である。
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が5位にベンゾフリル基を直接又はビニル基を介して結合した2-ハロメチル-1,3,4-オキサジアゾール誘導体であることを特徴とするネガ型感光性組成物。
IPC (4)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
Cited by examiner (7)
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