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J-GLOBAL ID：200903005732312703

レーザ照射装置

Inventor： 藤川 周一 ,  今野 進 ,  吉沢 憲治 ,  八木 重典
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998281143
Publication number (International publication number)：2000107875
Application date： Oct. 02, 1998
Publication date： Apr. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 加工性能や加工品質に優れ、増幅効率の高いレーザ照射装置を得る。【解決手段】 パルスレーザ光源1からの直線偏光したパルスレーザ光の偏光方向を直角に回転させる電気光学素子2、直交する偏光成分を2つの進行方向に分離する偏光ビームスプリッタ3、この進行方向が分離された2つの直交する偏光成分を、各々被照射物701、702まで伝送する伝送光路を備え、直線偏光の単一レーザパルス401が電気光学素子を通過する際、所定の時間範囲内に通過する部分のみ偏光方向を直角に回転させ、単一レーザパルス中に2つの直交する直線偏光部分を形成し、偏光ビームスプリッタによって直交する2つの直線偏光部分を分離することにより、単一レーザパルスをパルス時間幅の短い少なくとも2つのレーザパルス403、404に時間的に分割し、分割したレーザパルスを各々被照射物へ照射する。

Claim (excerpt)：

直線偏光したパルスレーザ光を発生するパルスレーザ光源と、パルスレーザ光の偏光方向を直角に回転させる光学素子と、直交する偏光成分を2つの進行方向に分離する偏光ビームスプリッタと、該偏光ビームスプリッタによって進行方向が分離された2つの直交する偏光成分を、各々被照射物まで伝送する伝送光路とを備え、直線偏光の単一レーザパルスが前記光学素子を通過する際、所定の時間範囲内に通過する部分のみ偏光方向を直角に回転させ、単一レーザパルス中に2つの直交する直線偏光部分を形成し、前記偏光ビームスプリッタによって直交する2つの直線偏光部分を分離することにより、単一レーザパルスをパルス時間幅の短い少なくとも2つのレーザパルスに時間的に分割し、分割したレーザパルスを各々前記被照射物へ照射するようにしたことを特徴とするレーザ照射装置。

IPC (4)：

B23K 26/06 ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/09 502 ,  H01S 3/00

FI (4)：

B23K 26/06 E ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/09 502 ,  H01S 3/00 B

F-Term (21)：

2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079BA02 ,  2H079CA24 ,  2H079DA03 ,  2H079GA01 ,  2H079KA06 ,  4E068CA05 ,  4E068CD03 ,  4E068CD05 ,  4E068CD08 ,  4E068CK01 ,  5F072AB01 ,  5F072HH07 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK12 ,  5F072KK13 ,  5F072MM03 ,  5F072MM04 ,  5F072PP01 ,  5F072QQ02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• レーザー光路分配装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-311688   Applicant：株式会社日本レーザー