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J-GLOBAL ID：200903005752826800
基板位置補正装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 精孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992074670
Publication number (International publication number)：1993283899
Application date： Mar. 30, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 垂直軸回りの偏差矯正を複雑な計算を要することなく簡単に行なえる基板位置補正装置を提供すること。【構成】 基板1の上面一側に該側縁に沿う方向に間隔をおいて設けられた位置検知用の2つのマ-クm1,m2と、少なくともX-Y-θ方向の3自由度を有する基板支持テ-ブル2と、基板上面のマ-ク周辺部分を撮像可能な撮像器3aと、基板2上の各マ-クm1,m2が撮像器3aで捕えられるように基板支持テ-ブル2をX方向とY方向の何れかに移動させる撮像位置設定手段と、各撮像位置で取り込まれた画像デ-タから両マ-クを結ぶ線分と上記テ-ブル移動方向とのなす角度Δθを求める角度偏差算出手段と、角度偏差Δθの矯正に必要な量だけ基板支持テ-ブル2をθ方向に移動させるテ-ブル駆動手段7とから、基板位置補正装置を構成している。
Claim (excerpt)：
基板の上面一側に該側縁に沿う方向に間隔をおいて設けられた位置検知用の2つのマ-クと、少なくともX-Y-θ方向の3自由度を有する基板支持テ-ブルと、基板上面のマ-ク周辺部分を撮像可能な撮像器と、基板上の各マ-クが撮像器で捕えられるように基板支持テ-ブルをX方向とY方向の何れかに移動させる撮像位置設定手段と、各撮像位置で取り込まれた画像デ-タから両マ-クを結ぶ線分と上記テ-ブル移動方向とのなす角度を求める角度偏差算出手段と、角度偏差の矯正に必要な量だけ基板支持テ-ブルをθ方向に移動させるテ-ブル駆動手段とから成る、ことを特徴とする基板位置補正装置。
IPC (2)：
H05K 13/04
, G06F 15/62 405
