処理システム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐々木聖孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003173350
Publication number (International publication number)：2005011936
Application date： Jun. 18, 2003
Publication date： Jan. 13, 2005
Summary：

【課題】被処理基板をプロセスフローの順にシリアルに水平な方向で搬送するシステムの両サイド間で人が迂回することなく行き来できるようにすること。【解決手段】このレジスト塗布現像処理システムでは、搬送ライン[A]の終端部、搬送ライン[B]の始端部および終端部、搬送ライン[C]の始端部および終端部、搬送ライン[D]の始端部にオーブンタワー(TB)76,78,80,82,84,86をそれぞれ設け、両オーブンタワー(76,86),(78,84),(80,82)の間に縦型の搬送機構(S/A)88,90,92をそれぞれ設けている。搬送機構88と搬送機構90との間には、当該クリーンルーム内でこのレジスト塗布現像処理システムを横断して人が通り抜けるのを可能とする通路168と、両搬送機構88,90の間で基板Gをやりとりするためのエクステンション・ユニット170とが上下に設けられる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

1つまたは一連の処理工程において被処理基板をプロセスフローの順にシリアルにほぼ水平な方向で搬送する第1の搬送ラインと、前記第1の搬送ラインの延長上に設けられ、1つまたは一連の処理工程において被処理基板をプロセスフローの順にシリアルにほぼ水平な方向で搬送する第2の搬送ラインと、前記第1の搬送ラインの終端部に設けられ、前記第1の搬送ラインより被処理基板の搬出を行うための少なくとも1台の搬出ユニットと被処理基板に所定の処理を施すための少なくとも1台の処理ユニットとを多段に積層配置してなる第1の多段ユニット部と、前記第1の多段ユニット部内の各ユニットの間で被処理基板を搬送するための第1の搬送手段と、前記第2の搬送ラインの始端部に設けられ、前記第2の搬送ラインへの被処理基板の搬入を行うための少なくとも1台の搬入ユニットと被処理基板に所定の処理を施すための少なくとも1台の処理ユニットとを多段に積層配置してなる第2の多段ユニット部と、前記第2の多段ユニット部内の各ユニットの間で被処理基板を搬送するための第2の搬送手段と、前記第1の搬送手段と前記第2の搬送手段との間で被処理基板の受け渡しを行うために両搬送手段の間に配置される受け渡し部と、システムを人が横断して通り抜けできるように前記受け渡し部の下に設けられる通路とを有する処理システム。

IPC (3)：

H01L21/68 , B65G49/06 , H01L21/027

FI (3)：

H01L21/68 A , B65G49/06 Z , H01L21/30 562

F-Term (20)：

5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA09 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031MA30 , 5F031NA05 , 5F031PA08 , 5F031PA18 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046JA04 , 5F046JA22 , 5F046KA01 , 5F046LA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-057303 Applicant：東京エレクトロン株式会社
コンベア装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-244954 Applicant：ソニー株式会社
通路確保コンベア
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-053996 Applicant：新明工業株式会社, トヨタ自動車株式会社

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