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J-GLOBAL ID：200903005818423257

レーザ顕微鏡

Inventor： 池田 利喜夫 ,  津守 利郎
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 山本 孝久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994072503
Publication number (International publication number)：1995261091
Application date： Mar. 17, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】高い解像度と深い焦点深度の相反する要望を満たし得るレーザ顕微鏡を提供する。【構成】レーザ顕微鏡は、光源と、対物レンズ51と、試料ステージ53と、光検出器52とを少なくとも備えており、光源は、(イ)レーザダイオード、Nd:YAGから成る固体レーザ媒質及び非線形光学結晶素子から構成された、波長λの第2高調波を射出し得るレーザ光源10と、(ロ)非線形光学結晶素子及び光共振器から成り、レーザ光源から射出された波長λのレーザ光が入射され、そして波長λの入射光の第2高調波に基づいた波長λ’のレーザ光を少なくとも射出し得る第2高調波発生装置20と、(ハ)光共振器の共振器長を制御するための共振器長制御装置30と、(ニ)波長λ又は波長λ’のレーザ光を対物レンズに入射させるためのレーザ光切替手段43A,43Bから成る。

Claim (excerpt)：

光源と、対物レンズと、試料ステージと、光検出器とを少なくとも備えたレーザ顕微鏡であって、該光源は、(イ)レーザダイオード、Nd:YAGから成る固体レーザ媒質及び非線形光学結晶素子から構成された、波長λの第2高調波を射出し得るレーザ光源と、(ロ)非線形光学結晶素子及び光共振器から成り、該レーザ光源から射出された波長λのレーザ光が入射され、そして該波長λの入射光の第2高調波に基づいた波長λ’のレーザ光を少なくとも射出し得る第2高調波発生装置と、(ハ)該光共振器の共振器長を制御するための共振器長制御装置と、(ニ)波長λ又は波長λ’のレーザ光を対物レンズに入射させるためのレーザ光切替手段、から成ることを特徴とするレーザ顕微鏡。

IPC (7)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/27 ,  G02F 1/37 ,  H01L 21/66 ,  H01S 3/109