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J-GLOBAL ID：200903005863143826
電子顕微鏡における非点補正方式
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
菅井 英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993008592
Publication number (International publication number)：1994223761
Application date： Jan. 21, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】 電子顕微鏡において照射系レンズの非点補正を自動化する。【構成】 制御装置10はCL6の励磁を所定の励磁範囲を所定のステップ幅で順次増加または減少させ、その度に一次元電子線検出器1〜4から輝度信号を取り込んで4方向の電子ビームスポットの幅を検出し、一次元電子線検出器1〜4の各方向毎の励磁電流と電子ビームスポット幅との関係を求める。そして、制御装置10は、4方向における励磁電流と電子ビームスポット幅との関係から、どの方向にどのような非点が生じているかを判断し、当該非点を補正するために非点補正コイル7に供給すべき電流を決定し、その電流を非点補正コイル7に供給する。
Claim (excerpt)：
所定の位置に設定された原点を通り、π/nの角度をおいて設定されたn方向について電子ビームスポットを検出する電子線検出手段を備え、コンデンサレンズの励磁を連続的またはステップ状に変化させたときの前記電子線検出手段の出力信号に基づいて電子ビームの非点補正を行うことを特徴とする電子顕微鏡における非点補正方式。
Patent cited by the Patent：
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