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J-GLOBAL ID：200903005879697155

電子放出素子の製造方法、および電子源と画像形成装置の製造方法

Inventor： 神代 和浩
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999003185
Publication number (International publication number)：2000200544
Application date： Jan. 08, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 良好な電子放出特性を有する電子放出素子の製造方法を提供する。【解決手段】 基体上に一対の電極と電子放出部を有する導電性薄膜を有する電子放出素子の製造方法において、前記基体に有機金属とその有機金属の熱分解によって生成する金属微粒子の二次凝集を抑制するための金属微粒子分散剤とを含有する有機金属含有水溶液を付与する工程と、前記基体に付与された有機金属溶液を熱分解して導電性薄膜を形成する工程を有する電子放出素子の製造方法。

Claim (excerpt)：

基体上に一対の電極と電子放出部を有する導電性薄膜を有する電子放出素子の製造方法において、前記基体に有機金属とその有機金属の熱分解によって生成する金属微粒子の二次凝集を抑制するための金属微粒子分散剤とを含有する有機金属含有水溶液を付与する工程と、前記基体に付与された有機金属溶液を熱分解して導電性薄膜を形成する工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。