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J-GLOBAL ID：200903005893353604

光学装置

Inventor： 中村 徹 ,  潮 嘉次郎 ,  清水 澄人 ,  押野 哲也 ,  村上 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997124532
Publication number (International publication number)：1998314575
Application date： May. 14, 1997
Publication date： Dec. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 不純物の光化学反応による光源及び/または光学系の汚染を十分に防止することができる光学装置を提供すること。【解決手段】 少なくとも、気体中の不純物に対する照射により、不純物に光化学反応を引き起こさせる光の光源13と、該光源から出射された光を伝達する光学系13と、を備えた光学装置において、装置内部に導入される装置外部からの雰囲気ガスを浄化するガス浄化系であり、前記不純物を前記雰囲気ガスから除去するガス浄化系12を設けたことを特徴とする光学装置11。

Claim (excerpt)：

少なくとも、気体中の不純物に対する照射により、不純物に光化学反応を引き起こさせる光の光源と、該光源から出射された光を伝達する光学系と、を備えた光学装置において、装置内部に導入される装置外部からの雰囲気ガスを浄化するガス浄化系であり、前記不純物を前記雰囲気ガスから除去するガス浄化系を設けたことを特徴とする光学装置。

IPC (6)：

B01J 19/12 ,  B01D 53/86 ,  B01J 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/02

FI (6)：

B01J 19/12 Z ,  B01J 19/00 H ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 D ,  B01D 53/36 J ,  H01L 21/30 516 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭63-084193