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J-GLOBAL ID：200903005933882290

ペリクル

Inventor： 関本 謙一 ,  柴田 勝弥
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992180504
Publication number (International publication number)：1994003807
Application date： Jun. 16, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 目視検査の際付着異物を発見しやすい粘着剤層を枠内側面に形成されたペリクルを提供する。【構成】 内側面に粘着剤層が形成されたペリクル枠とその枠の一側面に張設される薄膜からなるペリクルにおいて、ペリクル枠内側面に形成された粘着剤層が光沢のある表面を有するペリクル。

Claim (excerpt)：

内側面に粘着剤層が形成されたペリクル枠とその枠の一側面に張設される薄膜からなるペリクルにおいて、ペリクル枠内側面に形成された粘着剤層が光沢のある表面を有することを特徴とするペリクル。

IPC (2)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027