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J-GLOBAL ID：200903005939634140
走査型電子顕微鏡による計測方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993150128
Publication number (International publication number)：1995014537
Application date： Jun. 22, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：
【要約】【構成】試料表面に蓄積した電荷を、反対極性の電荷が発生する異なる加速電圧に切り替えて電子ビームを照射することにより消去する。【効果】試料表面に蓄積した電荷を、異なる加速電圧を印加して反対極性の電荷を発生させて蓄積電荷を打ち消すことにより、チャージアップを効果的に防止できる。
Claim (excerpt)：
電子ビームを細く集束して試料上を走査し、前記試料の表面から放出される二次電子又は反射電子を検出増幅し、前記試料上の走査と同期して像観察用画面表示部上で走査し輝度変調して像を表示する走査型電子顕微鏡により像観察あるいは分析を行う場合において、像観察あるいは分析を行うべくパターンの位置決めを行う際の加速電圧と、像観察あるいは分析時の加速電圧とが異なることを特徴とする走査型電子顕微鏡による計測方法。
IPC (3)：
H01J 37/22
, G01B 15/04
, H01J 37/28
