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J-GLOBAL ID：200903005952942376
ポリイミドエッチング液及び廃液処理方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993087498
Publication number (International publication number)：1994302586
Application date： Apr. 14, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：
【要約】【構成】 水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成分とするポリイミド樹脂のエッチング液において、界面活性剤成分を含むポリイミド樹脂のエッチング液および該エッチング操作において、ポリイミド樹脂をエッチング加工した後の一部ゲル化した廃液に、界面活性剤成分を混入せしめて、該ゲル化成分を再溶解させる廃液処理方法。【効果】 本発明によれば、ポリイミドのエッチング加工がより高精度で可能になり、液の管理、回収、廃液処理及びエッチング機器の保全管理が容易になる。また、一度ゲル化した廃液も再溶解が可能となり液の管理、廃液処理が容易になる。
Claim (excerpt)：
水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成分とするポリイミド樹脂のエッチング液において、界面活性剤成分を重量比1〜30%含むポリイミド樹脂のエッチング液。
IPC (3)：
H01L 21/308
, C02F 1/00
, G03F 7/40 521
