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J-GLOBAL ID：200903005981645682
微小円筒形部品寸法測定システム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井ノ口 壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992350554
Publication number (International publication number)：1994174433
Application date： Dec. 04, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】 顕微鏡画像処理とレーザ側長器を用いフェルール等の微小な円筒形部品の寸法(内径,外径,偏心)測定を高精度かつ、高速度で自動測定できる微小円筒形部品寸法測定システムを提供する。【構成】 フェルール吸着台12にフェルール11を取り付け保持する。Z軸ステージ13を光軸方向に移動させることによりフェルール11の円筒端面に焦点を合わせ、金属顕微鏡2で拡大した画像をCCDカメラ1でイメージに変換してシステム制御ユニット6に送出する。内径部分の画像を一画面で捕らえ、画像処理することにより内径およびその中心を求める。そしてX,Y軸ステージを移動させ数カ所の外形部分画像を取り込み、X,Y軸移動量と画像処理によって外径とその中心を求める。そして内,外径中心の演算式より偏心を求める。
Claim (excerpt)：
基準ベースと、前記基準ベースに搭載され、X軸とY軸方向に移動可能なステージと、前記ステージを駆動する駆動機構と、前記ステージの対向位置に配置され、前記基準ベースに取り付けられている顕微鏡と、前記ステージに搭載され、被測定物である微小円筒形部品を、その円筒端面が前記顕微鏡の光軸に直角になるように保持する微小円筒形部品保持機構と、前記微小円筒形部品を照明する照明部と、前記ステージのX軸とY軸の移動量を測定するレーザ測長機構と、前記微小円筒形部品の測定部分に対し合焦動作を行うAF機構と、前記顕微鏡で拡大された像をイメージ信号に変換するCCDカメラと、前記微小円筒形部品の内径部分全体を前記CCDカメラの一画面内に映し出し、その画像の内径エッジ複数個所の位置を画素の数によって求め、演算処理することにより内径と内径中心を算出する制御シーケンスと、前記駆動機構を制御し前記ステージをX軸,Y軸方向に移動することによって前記微小円筒形部品の外形の複数箇所をそれぞれ前記CCDカメラの一画面毎に映し出していき、前記各画像と前記レーザ測長機構で測長したX軸,Y軸移動量とによって外形エッジ複数箇所の位置を求め、演算処理することにより外径と外径中心を算出する制御シーケンスと、前記算出された内径中心と外径中心位置とを用いて演算することにより偏心を算出する制御シーケンスを順次自動的に実行するシステム制御部と、から構成されたことを特徴とする微小円筒形部品寸法測定システム。
IPC (2)：
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