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J-GLOBAL ID：200903005984357041

基板の製造方法及び製造装置

Inventor：
藤井 永一

About 藤井 永一

, 
長坂 公夫

About 長坂 公夫


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000284988
Publication number (International publication number)：2002086462
Application date： Sep. 20, 2000
Publication date： Mar. 26, 2002
Summary：
【要約】【課題】 基板上に「げた」のない樹脂パターンを形成することを可能とする基板の製造方法及び装置を提供する。【解決手段】 基板(50)と凹凸パターンが形成された原盤(30)とを面一に合わせ、原盤の一方端側から基板と原盤との該合わせ面に沿って樹脂(60)を浸透させると共に、原盤の一方端側よりもその他方端側の気圧を相対的に低く設定して原盤の凹凸パターン内に樹脂を引込み、原盤の凹凸パターン内に広がった樹脂を硬化させ、基板と原盤とを離間して基板上に原盤から転写された樹脂パターンを得る。
Claim (excerpt)：
基板と凹凸パターンが形成された原盤とを面一に合わせ、前記原盤の一方端側から前記基板と前記原盤との該合わせ面に沿って樹脂を浸透させると共に、前記原盤の一方端側よりもその他方端側の気圧を相対的に低く設定して前記原盤の凹凸パターン内に前記樹脂を引込み、前記原盤の凹凸パターン内に広がった樹脂を硬化させ、前記基板と前記原盤とを離間して前記基板上に前記原盤から転写された樹脂パターンを得る、基板の製造方法。
IPC (6)：
B29C 39/24 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/26 ,  B29C 39/42 ,  G11B 7/26 521 ,  B29K101:10
FI (6)：
B29C 39/24 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/26 ,  B29C 39/42 ,  G11B 7/26 521 ,  B29K101:10
F-Term (28)：
4F202AA36 ,  4F202AA44 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA01 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD30 ,  4F202CK11 ,  4F204AA36 ,  4F204AA44 ,  4F204AG01 ,  4F204AG05 ,  4F204AJ09 ,  4F204EA03 ,  4F204EB29 ,  4F204EF01 ,  4F204EF30 ,  4F204EK09 ,  4F204EK10 ,  4F204EK13 ,  4F204EK17 ,  4F204EK18 ,  4F204EK24 ,  5D121AA02 ,  5D121DD02 ,  5D121DD17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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