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J-GLOBAL ID：200903006001161648

加速度センサ

Inventor： 高山 清
Applicant, Patent owner： 日本航空電子工業株式会社
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993275232
Publication number (International publication number)：1995128361
Application date： Nov. 04, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ストッパ板の接着剤がヒンジ部に達しないようにする。【構成】 ストッパ用ウエハ21,22に、ヒンジ部12の外側と近接し、フレーム部11の内周縁に沿った溝31,32がそれぞれ形成され、ウエハ21,22をチップ用ウエハ18に加圧接着すると、広がった接着剤22,24は溝31,32内に吸収され、ヒンジ部12へ達しない。

Claim (excerpt)：

方形フレーム部内にヒンジ部を介して質量部が一体に形成され、上記フレーム部の両面に、上記質量部の過大な変位を阻止する第1,第2ストッパ板がそれぞれ接着剤にて接着された加速度センサにおいて、上記ヒンジ部と接近し、その外側を通り上記フレーム部の内周縁に沿って上記第1,第2ストッパ板の内面にそれぞれ第1,第2溝が形成されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84