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J-GLOBAL ID：200903006008327193
ネガ型レジスト組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991326748
Publication number (International publication number)：1993134412
Application date： Nov. 15, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：
【要約】【構成】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物、および(C)芳香環に直結した官能基として-OR基(ここで、Rは置換メチル基、置換エチル基、シリル基、アルコキシカルボニル基またはアシル基である)および-CH2OX基(ここで、Xは水素原子、炭素数1〜5のアルキル基または上記Rを定義する基である)を有しそして酸存在下において上記アルカリ可溶性樹脂を架橋しうる芳香族化合物、例えば下記式(A)【化1】で表わされる化合物を含有してなるネガ型レジスト組成物。【効果】現像性、解像度、パターン形状および耐熱性に優れ、架橋剤の熱安定性、パターンが形成された放射線照射部の膜減り、現像時のパターンの膨潤およびパターンの蛇行等の問題を解決し、特に遠紫外線以下の波長の光(例えばエキシマーレーザー光等)、電子線、X線等の露光にも好適に使用されるネガ型レジストを提供する。
Claim (excerpt)：
(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物、および(C)芳香環に直結した官能基として-OR基(ここで、Rは置換メチル基、置換エチル基、シリル基、アルコキシカルボニル基またはアシル基である)および-CH2OX基(ここで、Xは水素原子、炭素数1〜5のアルキル基または上記Rを定義する基である)を有しそして酸存在下において上記アルカリ可溶性樹脂を架橋しうる芳香族化合物、を含有してなるネガ型レジスト組成物。
IPC (4)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, H01L 21/027
Cited by examiner (8)
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