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J-GLOBAL ID：200903006012388555

パターン欠陥検出方法

Inventor： 脇谷 康一 ,  湯川 典昭
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999154535
Publication number (International publication number)：2000348171
Application date： Jun. 02, 1999
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 種々のパターン欠陥を分類して的確に検出できるパターン欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 予め良品パターンを登録しておき、入力された対象パターンと良品パターンを比較するパターン欠陥検出方法であって、良品パターンと対象パターンとを比較し、良品パターンと対象パターンとで差異のあるパターンを欠陥パターンとして検出し、欠陥パターンの輪郭線の特徴により欠陥パターンを分類して検出するようにした。

Claim (excerpt)：

予め良品パターンを登録しておき、入力された対象パターンと良品パターンを比較するパターン欠陥検出方法であって、良品パターンと対象パターンとを比較し、良品パターンと対象パターンとで差異のあるパターンを欠陥パターンとして検出し、欠陥パターンの輪郭線の特徴により欠陥パターンを分類して検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。

IPC (2)：

G06T 7/00 ,  G01B 11/30

FI (3)：

G06F 15/62 405 A ,  G01B 11/30 A ,  G06F 15/70 330 N

F-Term (31)：

2F065AA54 ,  2F065AA61 ,  2F065CC01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ51 ,  2F065TT03 ,  5B057AA03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DC09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096FA06 ,  5L096GA08 ,  5L096HA07 ,  5L096JA22 ,  9A001HH21 ,  9A001HH23 ,  9A001JJ45 ,  9A001KK54 ,  9A001LL05