複屈折光学素子およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：樺山亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992127634
Publication number (International publication number)：1993323119
Application date： May. 20, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】安価に実現できて機械強度に優れ、任意のリターデーションを実現でき、なおかつ光学系の小型化に有効な、新規な複屈折光学素子とその製造方法を提供する。【構成】光の入出する1以上の面を持つ光学素子1の、複屈折膜を形成すべき面に対して40〜80度傾いた方向から蒸着物質を飛来させるように、光学素子1と蒸発源との位置関係を設定し、導入ガスの圧力を9×10~5Torr以上とした状態で、プラズマ蒸着法により金属酸化物の薄膜を複屈折膜3として形成する。

Claim (excerpt)：

光の入出する1以上の面に複屈折膜を有する複屈折光学素子を製造する方法であって、光の入出する1以上の面を持つ光学素子の、複屈折膜を形成すべき面に対して40〜80度傾いた方向から蒸着物質を飛来させるように、上記光学素子と蒸発源との位置関係を設定し、導入ガスの圧力を9×10~5Torr以上とした状態で、プラズマ蒸着法により金属酸化物の薄膜を複屈折膜として形成することを特徴とする複屈折光学素子の製造方法。

IPC (2)：

G02B 5/30 , G02B 1/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平3-035201
特開昭59-049508
特開昭61-084625

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