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J-GLOBAL ID：200903006068474896
金属酸化物薄膜の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
小倉 亘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991246608
Publication number (International publication number)：1993058604
Application date： Aug. 30, 1991
Publication date： Mar. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 両親媒性化合物が形成する分子集合体を反応場として利用し、分子レベルで構造制御された金属酸化物薄膜を得る。【構成】 分子の両端に極性基及び疎水基が付加された両親媒性化合物と金属酸化物ゾルとを含有する展開液を調製し、展開液を基板表面に展開した後、前記基板上に形成された液膜から溶媒を除去する。展開液は、金属酸化物ゾルの溶媒の種類に応じ水性又は非水性の溶媒で調製される。溶媒を除去した後の複合膜に対して熱的処理又は化学的処理を施し、両親媒性化合物を除去することができる。
Claim (excerpt)：
分子の両端に極性基及び疎水基が付加された両親媒性化合物と金属酸化物ゾルとを含有する展開液を調製し、該展開液を基板表面に展開した後、前記基板上に形成された液膜から溶媒を除去することを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。
IPC (4)：
C01B 13/14
, C01G 1/02
, C01G 23/04
, C04B 38/06
