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J-GLOBAL ID：200903006103422675

複合酸化物超電導薄膜の成膜方法

Inventor： 永石 竜起 ,  中西 秀典 ,  田中 三郎 ,  糸▲崎▼ 秀夫
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 越場 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991211504
Publication number (International publication number)：1993032493
Application date： Jul. 29, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レーザ蒸着法により、膜特性の優れた複合酸化物超電導薄膜を成膜する方法を提供する。【構成】 使用するターゲットを裏面から積極的に冷却しながら成膜処理を行う。

Claim (excerpt)：

レーザ蒸着法により酸化物超電導薄膜を成膜する方法において、使用するターゲットを裏面より積極的に冷却しながら成膜処理を行うことを特徴とする複合酸化物超電導薄膜の成膜方法。

IPC (7)：

C30B 29/22 501 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 565 ,  H01L 21/203 ,  H01L 39/24 ZAA ,  H01B 12/06 ZAA ,  H01L 21/268