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J-GLOBAL ID:200903006121975649

保護ダイオードを備えたCMOS半導体装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 最上 健治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991305691
Publication number (International publication number):1993121684
Application date: Oct. 25, 1991
Publication date: May. 18, 1993
Summary:
【要約】【目的】 LDD構造のCMOS半導体装置において静電耐圧を向上させた保護ダイオードを設ける。【構成】 半導体基板1に形成された保護ダイオードを有するLDD構造のCMOS半導体装置において、Pウェル2内に形成されるNチャネルMOSFETのソース・ドレイン領域は高濃度n型拡散層4が低濃度n型拡散層3に完全に覆われる構造を有し、Pウェル2内に形成されるN型保護ダイオードの活性領域には低濃度n型拡散層3を設けずに、PN接合面をPウェル2と高濃度n型拡散層4の接合部で構成する。
Claim (excerpt):
半導体基板に形成された入力及び出力保護ダイオードを備えたLDD構造のCMOS半導体装置において、Pウェル内に形成されているNチャネルMOSFETのソース・ドレイン領域は高濃度n型拡散層が低濃度n型拡散層に完全に覆われている構造を有しており、前記入力及び出力保護ダイオードの中のPウェル内に形成されているN型保護ダイオードの活性領域には、前記NチャネルMOSFETのソース・ドレイン領域を構成している低濃度n型拡散層を設けずに、N型保護ダイオードのPN接合面がPウェルと高濃度n型拡散層の接合部で構成されていることを特徴とする保護ダイオードを備えたCMOS半導体装置。
IPC (4):
H01L 27/092 ,  H01L 27/06 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/784
FI (4):
H01L 27/08 321 E ,  H01L 27/06 311 B ,  H01L 27/08 321 H ,  H01L 29/78 301 P
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭62-076676
  • 特開昭61-156856

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