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J-GLOBAL ID：200903006131578192

クリーンルーム設備

Inventor： 花渕 温子 ,  平田 順太
Applicant, Patent owner： 日立プラント建設株式会社
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999224025
Publication number (International publication number)：2001050567
Application date： Aug. 06, 1999
Publication date： Feb. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】室内顕熱の処理と室内の清浄度の緩和とを同時に達成することによりコストを削減することのできるクリーンルーム設備を提供する。【解決手段】クリーンルーム設備10は、床下空間28、リターン空間34、天井裏空間38によって形成される循環系路が室12に連通されるとともに、床下空間28にFFU32と冷却装置30とが図1の奥行き方向に交互に配設される。FFU32と冷却装置30はそれぞれファンを備えており、このファンを回転させることによって床下空間28のエアを除塵または除熱してリターン空間34に吹き出す。また、FFU32と冷却装置30は、制御装置36によってファンの回転数が制御される。

Claim (excerpt)：

室内に連通する循環系路を形成し、該循環系路と前記室内との間でエアを循環させることによって前記室内の除塵と除熱を行うクリーンルーム設備において、前記循環系路内に除塵装置と冷却装置とを、前記循環系路を循環するエアの流れに対して並列な位置関係になるように配置するとともに、前記除塵装置と冷却装置にそれぞれ送風手段を設けたことを特徴とするクリーンルーム設備。

F-Term (5)：

3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BF07 ,  3L058BG03 ,  3L058BG05