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J-GLOBAL ID：200903006135649973

感光性樹脂組成物

Inventor： 伊東 敏雄 ,  坂田 美和
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 清水 守 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991270972
Publication number (International publication number)：1993249677
Application date： Oct. 18, 1991
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ハーフミクロン又はそれ以下の寸法で高精度な加工に必要な短波長光源に高感度に反応する短波長光源用の感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 感光性樹脂組成物は、ポリ(ヒドロキシスチレン)のアリルエーテルと、放射線の作用により酸を発生する酸発生剤とからなる。この酸発生剤には、トリアリールスルホニウム塩又はジアリールヨードニウム塩又は芳香族スルホン酸エステルが用いられ、その添加量はポリ(ヒドロキシスチレン)のアリルエーテルに対して、0.15〜50重量パーセントとする。

Claim (excerpt)：

ポリ(ヒドロキシスチレン)のアリルエーテルと、放射線の作用により酸を発生する酸発生剤とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027